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書誌情報サマリ

書名

真空ハンドブック 

著者名 アルバック/編
著者名ヨミ アルバック
出版者 オーム社
出版年月 2002.7


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1 121893085R534.9/アシ/一般参考資料貸出禁止在庫  ×

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2002

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1009810369778
書誌種別 図書
書名 真空ハンドブック 
書名ヨミ シンクウ ハンドブック
著者名 アルバック/編
著者名ヨミ アルバック
出版者 オーム社
出版年月 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
ISBN 4-274-08727-1
分類記号9版 534.93
分類記号10版 534.93
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
件名1 真空技術-便覧
累積注記 付:表(4枚)



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