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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

薄膜化技術 

著者名 和佐 清孝/著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ
出版者 共立出版
出版年月 1992.9


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No. 資料番号 請求記号 資料種別 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 120191051549.8/ワハ/一般書庫4平成帯出可在庫 

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1992
1992
549.8 549.8
薄膜

書誌詳細

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タイトルコード 1005010249889
書誌種別 図書
書名 薄膜化技術 
書名ヨミ ハクマクカ ギジュツ
著者名 和佐 清孝/著   早川 茂/著
著者名ヨミ ワサ キヨタカ ハヤカワ シゲル
出版者 共立出版
出版年月 1992.9
ページ数 282p
大きさ 22cm
ISBN 4-320-08497-7
分類記号9版 549.8
分類記号10版 549.8
内容紹介 ここ10年間「薄膜化技術」の進展は著しく、21世紀にかけての基幹科学技術としても不可欠の存在になった。今回の改訂版では、「薄膜化技術」の古い技術分野を削除するとともに、ペロブスカイト層状薄膜や人工超格子などについて追加増補している。
件名1 薄膜



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