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書誌情報サマリ

書名

シリコンLSIと化学 (新産業化学シリーズ)

著者名 伴 保隆/著
著者名ヨミ バン ヤスタカ
出版者 大日本図書
出版年月 1993.10


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No. 資料番号 請求記号 資料種別 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 120798277549.7/バシ/一般書庫4平成帯出可在庫 

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1993
1993
549.7 549.7
集積回路 シリコン(半導体)

書誌詳細

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タイトルコード 1009410022019
書誌種別 図書
書名 シリコンLSIと化学 (新産業化学シリーズ)
書名ヨミ シリコン エルエスアイ ト カガク
著者名 伴 保隆/著
著者名ヨミ バン ヤスタカ
出版者 大日本図書
出版年月 1993.10
ページ数 252p
大きさ 22cm
ISBN 4-477-00394-3
分類記号9版 549.7
分類記号10版 549.7
内容紹介 1.シリコンLSI 2.シリコンLSIの基礎 3.シリコンLSIと化学 4.ウェハープロセスと化学 5.超LSIの今後と応用技術
件名1 集積回路
件名2 シリコン(半導体)



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