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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報サマリ

書名

電子線リソグラフィ教本 

著者名 横山 浩/監修
著者名ヨミ ヨコヤマ ヒロシ
出版者 オーム社
出版年月 2007.6


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No. 資料番号 請求記号 資料種別 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 122708159549.7/ヨデ/一般一般資料帯出可在庫 

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2007
549.7 549.7

書誌詳細

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タイトルコード 1000000174319
書誌種別 図書
書名 電子線リソグラフィ教本 
書名ヨミ デンシセン リソグラフィ キョウホン
著者名 横山 浩/監修   秋永 広幸/編
著者名ヨミ ヨコヤマ ヒロシ アキナガ ヒロユキ
出版者 オーム社
出版年月 2007.6
ページ数 13 210p
大きさ 21cm
ISBN 978-4-274-20415-9
ISBN 978-4-274-20415-9
分類記号9版 549.7
分類記号10版 549.7
内容紹介 「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
件名1 リソグラフィー
件名2 電子線



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