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書誌情報サマリ

書名

薄膜技術の新潮流 (ケイブックス)

著者名 平尾 孝/〔ほか〕共著
著者名ヨミ ヒラオ タカシ
出版者 工業調査会
出版年月 1997.7


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No. 資料番号 請求記号 資料種別 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 121244941549.8/ヒハ/一般書庫4平成帯出可在庫 

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1997
549.8 549.8
薄膜

書誌詳細

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タイトルコード 1009710060647
書誌種別 図書
書名 薄膜技術の新潮流 (ケイブックス)
書名ヨミ ハクマク ギジュツ ノ シンチョウリュウ
著者名 平尾 孝/〔ほか〕共著
著者名ヨミ ヒラオ タカシ
出版者 工業調査会
出版年月 1997.7
ページ数 258p
大きさ 19cm
ISBN 4-7693-1157-5
分類記号9版 549.8
分類記号10版 549.8
副書名 多彩な新規応用をカバー
副書名ヨミ タサイ ナ シンキ オウヨウ オ カバー
内容紹介 半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。
件名1 薄膜



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